MAKE

The Centre for Material Analysis (CMA) is a research infrastructure unit of the University of Oulu. The CMA offers research and analysis services for the University’s research groups and industry. Versatile selection of modern research equipment and a cleanroom facility creates an excellent environment for carrying out research in the fields of materials science and micro and nanotechnology. Most of the instruments of the CMA can be used in various fields of science and technology, for example microelectronics, metallurgy, geology, chemistry, and biomedicals. The personnel of the CMA supports researchers by training them to use the devices and by solving problems related to their research. The research infrastructure of the CMA is also utilized in education. The CMA provides analysis services also for companies, other universities, and research institutes.

Yrityksille Yliopiston sisäisen tutkimuspalvelun lisäksi MNT-keskuksessa tehdään myös tutkimusta yliopiston ulkopuolisille tahoille. Yrityksillä on mahdollisuus käyttää keskuksen puhdastiloja ja analyysilaitteista ja suorittaa omaa T&K työtään keskuksen tarjoamassa tutkimusympäristössä. MNT-keskuksen toiminnan eräs keskeinen tarkoitus onkin auttaa elinkeinoelämää mikro- ja nanoteknologian käyttöönotossa, sekä uusien tuoteaihioiden kehittämisessä. Yritysten tilaustutkimuksessa syntyvät tiedot käsitellään aina luottamuksellisesti. Tarvittaessa voidaan laatia myös yliopiston ja palvelun tilaajan välinen salassapitosopimus. Esimerkkejä yrityksille tarjottavista palveluista Materiaalien laserleikkaus Mikropiirien korjauspalvelua FEI Helios Dualbeam ionisuihkutyöstölaitteistolla (FIB). Kyseisestä toiminnasta keskuksen henkilökunnalla on yli 15 vuoden kokemus ja keskus on ainoa kyseisen palvelun tarjoaja koko Suomessa. IC-piirien testaus täysautomaattisella Tokyo Electronics P-8XL kiekkotesterillä Fotolitografiamaskien valmistus Täydellinen paksukalvoprosessointilaitteisto, joka pohjautuu pääosin tiloihin asennettuihin Mikroelektroniikan ja materiaalifysiikan laboratorioiden laitteisiin. Laitteistoa voidaan käyttää esimerkiksi protosarjojen valmistukseen. Optisten komponenttien valmistaminen PECVD- ja RIE-tekniikoilla Ohutkalvojen ominaisuuksien määrittäminen ellipsometrilla Kiinteiden ja nestemäisten näytteiden Raman-mittaukset Materiaalien lämpökäsittely RTA-uunilla Näytteiden kuvausta ja analysointia elektronimikroskoopeilla Kiteisten faasien analysointia röntgendiffraktiolla Erilaisten materiaalien alkuainemääritykset Yliopiston yksiköille MNT-keskuksen laitteet ja puhdastilat ovat kaikkien Oulun yliopiston yksiköiden käytössä. Laitekantaa pyritään täydentämään jatkuvasti painopisteen ollessa hankinnoissa, jotka palvelevat mahdollisimman laajasti eri alojen tutkimusta.

2005

University of Oulu

NATURAL SCIENCES, ENGINEERING AND TECHNOLOGY