Piin anisotrooppinen märkäetsaus
Year of publication
1983
Authors
Ylilammi, Markku
Abstract
Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.
Show moreOrganizations and authors
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Ylilammi Markku
Publication type
Publication format
Monograph
Audience
Professional
MINEDU's publication type classification code
D4 Published development or research report or study
Publication channel information
Journal/Series
Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita
Publisher
VTT Technical Research Centre of Finland
Issue
176
ISSN
ISBN
Open access
Open access in the publisher’s service
No
License of the publisher’s version
Other license
Self-archived
No
Other information
Language
Finnish
International co-publication
No
Co-publication with a company
No
The publication is included in the Ministry of Education and Culture’s Publication data collection
No